德國CMC微量水分析儀采用電解法露點儀原理：氣樣流經一個特殊結構的電解池, 其水分被池內作為吸濕劑的五氧化二磷膜層吸收, 并被電解為氫氣和氧氣排出, 而五氧化二磷得以再生。反應過程可表示為：

P2O5+H2O=2HPO3（1）

4HPO3=2H2↑+O2↑+2P2O5（2）

合并（1）、（2）得：

2H2O=2H2↑+O2↑

當吸濕和電解達成平衡后, 進入電解池的水分全部被五氧化二磷膜層吸收, 并全部被電解，同時五氧化二磷被再生可反復測量氣體中的水分含量。因此可通過測量電解電流來測量氣樣中的含水量。五氧化二磷電解法露點儀具有結構簡單、使用壽命長、測量精度較高、測量范圍廣的特點。特別是腐蝕性氣體的測量，對傳感器沒有影響，在氯堿行業應用非常廣泛。

該型露點儀的探頭是由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的鉑絲電極組成，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸（H3PO4）。氣樣經過預處理后通入探頭進行分析，測量數據通過顯示器直接讀取。水分含量測量結果通常以“℃”（攝氏的露點）和“ppm”（百萬分之一體積的水）來表示，我們所使用的露點儀可同時顯示這兩種露點值。